一种金属封装外壳及其制备工艺的制作方法
耐高温、耐腐蚀等特点,使得内部电路能在一个气密的环境下运行而不受水汽、其他有害气体或离子以及射线的干扰,延长使用寿命,解决了现有的塑料外壳气密性差、使用寿命短以及屏蔽性差的问题。本发明涉及一种金属封装外壳及其制备工艺,属于芯片封装领域。
外壳作为集成电路的关键组件之一。
---的导热性,提供热耗散;---的导电性,减少传输---;---的emi/rfi屏蔽能力; 较低的密度,足够的强度和硬度,金属封装外壳加工,---的加工或成形性能;可镀覆性、可焊性和耐蚀性,以实现与芯片、盖板、印制板的---结合、密封和环境的保护;较低的成本。传统金属封装材料包括al、cu、mo、w、钢、可伐合金以及cu/w和cu/mo等金属封装外壳此外密度较大,to金属封装外壳厂家,不适合航空、航天用途。1.3 钢10号钢热导率为49.8 w(m-1k-1),大约是可伐合金的三倍,它的cte为12.6×10-6k-1,与陶瓷和半导体的cte失配,可与软玻璃实现压缩封接。不锈钢主要使用在需要耐腐蚀的气密封装里,不锈钢的热导率较低,如430不锈钢(fe-18cr,to金属封装外壳,牌号4j18)热导率仅为26.1 w(m-1k-1)。这种材料已在金属封装中得到广泛使用,如美国sinclair公司在功率器件的金属封装中使用glidcop代替无氧高导铜作为底座。美国sencitron公司在to-254气密金属封装中使用陶瓷绝缘子与glidcop引线封接。
虽然设计者可以采用类似铜的办法解决这个问题,但铜、铝与芯片、基板---的热失配,给封装的热设计带来很大困难,影响了它们的广泛使用。1.2 钨、钼mo的cte为5.35×10-6k-1,与可伐和al2o3非常匹配,它的热导率相当高,为138 w(m-k-1),故常作为气密封装的底座与可伐的侧墙焊接在一起,用在很多中、高功率密度的金属封装中cu/w和cu/mo为了降低cu的cte,可以将铜与cte数值较小的物质如mo、w等复合,得到cu/w及cu/mo金属-金属复合材料。这些材料具有高的导电、导热性能,杭州金属封装外壳,同时融合w、mo的低cte、高硬度特性。cu/w及cu/mo的cte可以根据组元相对含量的变化进行调整,可以用作封装底座、热沉,还可以用作散热片。+用作封装的底座或散热片时,这种复合材料把热量带到下一级时,并不十分有效,但是在散热方面是---有效的。这与纤维本身的各向---有关,纤维取向以及纤维体积分数都会影响复合材料的性能。
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